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對流化床立式管式爐的簡單介紹

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  流化床立式管式爐是門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區內爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區,所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節氣體流量等
 
  特點
 
  爐管為高純石英管,爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區域,進行沉積實驗
 
  用途
 
  是一款流化床立式管式爐,專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區
 
  固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區內
 
  爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。
 
  注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區,所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節氣體流量等
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